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图书信息
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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
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| ISBN: | 9787030378255 |
定价: | ¥138.00 |
| 作者: | 顾长志等编著 |
出版社: | 科学出版社 |
| 出版时间: | 2013年06月 |
开本: | 25cm |
| 页数: | 11,353页 |
装祯: | 精装 |
| 中图法: | TB383 |
印次: | 2019.01重印 |
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202
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2026-06-22
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图书简介 | | 本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用,注重理论与实践的结合,包括光学曙光、电子束曙光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印,刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用,重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。 |
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