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图书信息
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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
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| ISBN： | 9787030378255 |
定价： | ￥138.00 |
| 作者： | 顾长志等编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2013年06月 |
开本： | 25cm |
| 页数： | 11,353页 |
装祯： | 精装 |
| 中图法： | TB383 |
印次： | 2019.01重印 |
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202
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2026-04-24
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图书简介 | | 本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曙光、电子束曙光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印，刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。 |
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