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图书信息
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脉冲激光沉积类金刚石膜技术
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| ISBN： | 9787030515513 |
定价： | ￥168.00 |
| 作者： | 程勇等编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2017年05月 |
开本： | 25cm |
| 页数： | 10,422页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TB43 |
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202
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2026-06-17
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图书简介 | | 全书共7章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手，阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点，以及类金刚石膜的测试与表征；详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响，偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术；针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题，展现了多功能激光沉积系统，阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验；最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用，展望了该技术未来发展趋势和前景。 |
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