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图书信息
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NEMS传感器的研制与应用
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| ISBN： | 9787502474423 |
定价： | ￥28.00 |
| 作者： | 谭苗苗著 |
出版社： | 冶金工业出版社 |
| 出版时间： | 2017年01月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 109页 |
中图法： | TM7 |
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2026-04-02
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图书简介 | | 本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案，并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析；针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等。 |
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