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图书信息
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微机电系统（MEMS）工艺基础与应用
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| ISBN： | 9787560351094 |
定价： | ￥48.00 |
| 作者： | 邱成军，曹姗姗，卜丹编著 |
出版社： | 哈尔滨工业大学出版社 |
| 出版时间： | 2016年02月 |
开本： | 23cm |
| 页数： | 301页 |
中图法： | TM380.5 |
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2025-11-28
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图书简介 | | 本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍了MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述了MEMS实现工艺，主要有刻蚀，表面微加工工艺的基本原理及其常用材料等内容。 |
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