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图书信息
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薄膜物理与技术
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| ISBN： | 7810167499 |
定价： | ￥28.00 |
| 作者： | 杨邦朝，王文生[编] |
出版社： | 电子科技大学出版社 |
| 出版时间： | 1994年01月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 237页 |
中图法： | O484 |
印次： | 2006.09重印 |
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2025-12-18
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图书简介 | | 本书主要论述了薄膜的制造技术与薄膜物理的基本内容，包括：真空技术基础、真空蒸发镀膜法、溅射镀膜、离子镀膜、化学气象沉积、溶液镀膜法、薄膜的形成等。 |
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