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图书信息
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微电子制造技术实验教程
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| ISBN： | 9787030444943 |
定价： | ￥29.00 |
| 作者： | 王姝娅[等]编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2015年06月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 11,152页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN4-33 |
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8
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2026-08-06
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图书简介 | | 本书以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和试验方法。第1、2章介绍清洗、氧化等相关制造工艺的基础知识和基础试验。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性能测试试验和电学性能测试试验。第4章介绍二极管、肖特基二极管等器件的制造以及集成运算放大器的参数测试。 |
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