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图书信息
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氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
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| ISBN： | 9787502469177 |
定价： | ￥25.00 |
| 作者： | 赵祥敏，赵文海著 |
出版社： | 冶金工业出版社 |
| 出版时间： | 2015年06月 |
开本： | 21cm |
| 页数： | 10,132页 |
中图法： | TB43 |
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280
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2026-04-20
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图书简介 | | 本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段等内容。 |
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