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图书信息
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氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
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ISBN: | 9787502469177 |
定价: | ¥25.00 |
作者: | 赵祥敏,赵文海著 |
出版社: | 冶金工业出版社 |
出版时间: | 2015年06月 |
开本: | 21cm |
页数: | 10,132页 |
中图法: | TB43 |
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2025-10-20
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图书简介 | 本书以实例的形式,介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章,主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用,ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段等内容。 |
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