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图书信息
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现代高纯气体:制取、分析与安全使用
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| ISBN： | 9787030449672 |
定价： | ￥108.00 |
| 作者： | 尹恩华著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2015年07月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 336页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TQ116 |
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2026-05-01
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图书简介 | | 本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等，无不需要各种高纯气体。本书介绍国内外最新文献，包括：吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。 |
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