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图书信息
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真空镀膜技术与设备
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| ISBN： | 9787502466381 |
定价： | ￥40.00 |
| 作者： | 张以忱主编 |
出版社： | 冶金工业出版社 |
| 出版时间： | 2014年07月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 249页 |
中图法： | TG174.444 |
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2025-10-20
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图书简介 | | 本书系统阐述了各种真空镀膜技术的基本概念、工作原理和应用，真空镀膜机结构及蒸发源，磁控靶的设计计算，溥膜厚度的测量技术等。 |
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