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图书信息
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微机电系统基础
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| ISBN： | 9787111406570 |
定价： | ￥69.00 |
| 作者： | (美)Chang Liu著 |
出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版时间： | 2013年02月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 13,397页 |
中图法： | TM38 |
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2026-10-07
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图书简介 | | 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。 |
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