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图书信息
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高分辨电子束光刻技术及其应用
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| ISBN： | 9787118142563 |
定价： | ￥149.00 |
| 作者： | 段辉高，梁惠康，陈艺勤著 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2026年06月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 10,311页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TG662 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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122
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库区3/泰安展厅库
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2026-07-15
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图书简介 | | 本书内容侧重于介绍高斯束电子束光刻，该类设备主要用于小批量打样及科研领域，对于产业界目前主流使用的高产能变形束和多束电子束光刻，由于目前公开的技术细节较少，本书未进行详细的介绍。书中引用了很多国内外科研团队及作者团队开发的微纳加工工艺及器件应用实例，希望能对读者有所启发。 |
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