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图书信息
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集成电路制造:科学与技术:science and technology
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| ISBN： | 9787111812791 |
定价： | ￥149.00 |
| 作者： | (美)詹姆斯·D.普卢默(James D. Plummer)，(美)彼得·B.格里芬(Peter B. Griffin)著 |
出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版时间： | 2026年08月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 12,455页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN405 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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74
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库区13
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2026-09-09
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其它供货商库存合计
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511
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2026-09-09
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图书简介 | | 本书通过介绍最先进的CMOS制造流程，帮助读者掌握现代集成电路制造技术，使读者具有全局思维和集成思维。本书首先介绍了现代CMOS技术，然后介绍了半导体材料、半导体制造、光刻、半导体/绝缘体接口、掺杂、离子注入、蚀刻、抛光、沉积等集成电路制造技术，最后介绍了后端(互连)处理技术，并大量运用工艺仿真与TCAD(技术计算机辅助设计)仿真技术，配套SilvacoAthena、VictoryProcess等业界主流商用工具，使读者对物理原理有更深入的了解，并为在现实中应用这些工具做好准备。 |
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