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图书信息
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芯片制造——半导体真空技术与设备
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| ISBN: | 9787111798132 |
定价: | ¥79.00 |
| 作者: | 陈译 陈铖颖 张宏怡 著 |
出版社: | 机械工业出版社 |
| 出版时间: | 2026年01月 |
中图法: | TN430.5 |
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2025-12-26
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