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图书信息
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人工智能赋能晶圆微损伤表征的无损检测方法研究
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| ISBN： | 9787522933627 |
定价： | ￥98.00 |
| 作者： | 邓志娟, 余冬玲, 李冠彪, 欧阳羽林, 著 |
出版社： | 中国纺织出版社有限公司 |
| 出版时间： | 2026年01月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 24 |
页数： | -1 |
| 装祯： | 平装 |
中图法： | TB302.5-39 |
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2026-03-05
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图书简介 | | 本专著重点探讨晶圆表面缺陷分类与定位的目标检测方法，提出晶圆表面缺陷的分类与定位的轻量级目标检测方法、建立晶圆表面缺陷分类与定位的轻量级浅层次特征增强目标检测方法、构建晶圆表面缺陷分类与定位的轻量级深层次特征增强目标检测方法、提出动态尺度均值滤波增强模型和组件连接的Snake分割模型的多层次区域边缘分割方法、建立了混合双交叉注意力机制与多参数特征梯度直方图架构的多尺度目标检测方法、构建了轻量级CBAM注意力机制与集成化多头注意力并行演算机制的多元化语义分割方法。 |
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