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图书信息
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半导体厂务项目工程管理
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| ISBN： | 9787111796831 |
定价： | ￥78.00 |
| 作者： | 沈晓宇，王栋，戴丽华主编 |
出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版时间： | 2026年01月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 194页 |
中图法： | F407.63 |
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北京人天书店有限公司
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2026-10-28
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2026-10-28
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图书简介 | | 本书共7个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。 |
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