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图书信息
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原子层沉积技术:原理及其应用
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| ISBN： | 9787030820488 |
定价： | ￥160.00 |
| 作者： | 李爱东[等]编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2025年08月 |
版次： | 2版 |
| 开本： | 24cm |
页数： | 14,636页 |
中图法： | TB3 |
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202
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2025-10-17
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图书简介 | | 本书共分为十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、生长材料及其前驱体和理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离膜等领域的应用，还特别介绍了正在快速发展中的原子层刻蚀技术。 |
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